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MEMS传感器老化试验规范.docx

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    MEMS传感器老化试验规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 2

    二、规范性引用文件 3

    三、术语和定义 5

    四、传感器分类 8

    五、试验条件 10

    六、试验设备与装置 12

    七、老化试验方法 15

    八、数据采集与处理 19

    九、性能指标评判 21

    十、试验报告编制 24

    十一、安全防护要求 27

    十二、质量控制与监督 30

    十三、重复性与再现性评估 33

    十四、环境适应性要求 36

    十五、结果不确定度分析 38

    十六、标准修订与版本管理 40

    范围

    适用对象界定

    本规范针对所有面向外界环境或内部工作

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