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MEMS传感器教学设计.docx

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    MEMS传感器教学设计

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、课程定位与教学目标 2

    二、学情分析与学习基础 5

    三、MEMS传感器基本概念 7

    四、微机电系统组成与原理 11

    五、MEMS传感器分类与性能 14

    六、敏感元件与转换机制 19

    七、力学传感器工作原理 26

    八、热学与流量传感器原理 30

    九、惯性传感器测量技术 35

    十、压力传感器结构设计 39

    十一、微纳加工关键工艺 41

    十二、信号调理与接口技术 43

    十三、传感器误差与标定方法 47

    十四、教学重点难点与策略 49

    十五、学习评价与考核设计

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