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MEMS传感器教学课件.docx

MEMS传感器教学课件.docx

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    MEMS传感器教学课件

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、MEMS传感器概述 4

    二、MEMS传感器基本原理 7

    三、微机电系统结构基础 10

    四、MEMS材料与性能 14

    五、MEMS加工工艺 20

    六、硅微加工技术 24

    七、表面微加工技术 26

    八、体微加工技术 31

    九、封装技术与接口 35

    十、电容式MEMS传感器 39

    十一、压阻式MEMS传感器 41

    十二、压电式MEMS传感器 44

    十三、热式MEMS传感器 49

    十四、光学式MEMS传感器 52

    十五、磁式MEMS传感器 55

    十六、ME

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