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MEMS压力传感器性能测试方案.docx

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    MEMS压力传感器性能测试方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、适用范围 7

    三、引用标准 8

    四、测试环境要求 10

    五、测试设备要求 13

    六、样品准备与要求 16

    七、精度性能测试 19

    八、灵敏度测试 22

    九、迟滞特性测试 25

    十、重复性测试 28

    十一、温度漂移测试 30

    十二、长期稳定性测试 32

    十三、响应时间测试 35

    十四、过载能力测试 38

    十五、可靠性试验 42

    十六、测试数据处理 45

    十七、测试结果判定 48

    十八、测试报告编制 50

    总则

    目的与依

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