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MEMS传感器热稳定性规范.docx

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    MEMS传感器热稳定性规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、规范性引用文件 8

    三、术语和定义 10

    四、热稳定性分类要求 12

    五、高温存储稳定性要求 14

    六、低温存储稳定性要求 16

    七、高低温循环稳定性要求 18

    八、温度冲击稳定性要求 21

    九、变温工况动态稳定性要求 31

    十、温度漂移特性要求 34

    十一、热噪声稳定性要求 37

    十二、封装材料热匹配要求 40

    十三、结构抗热形变要求 43

    十四、电学性能热耦合要求 45

    十五、热稳定性测试环境要求 49

    十六、热稳定性测试方法总则

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