MEMS传感器环境试验规范.docx

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MEMS传感器环境试验规范

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一、总则 4

二、规范性引用文件 8

三、术语与定义 10

四、试验样品通用要求 14

五、试验条件基本规定 17

六、气候环境试验要求 19

七、机械环境试验要求 22

八、特殊环境试验要求 24

九、试验方法选用规则 30

十、试验前初始检测要求 34

十一、试验过程监测要求 36

十二、试验后性能检测要求 39

十三、试验结果判定准则 42

十四、不合格品处理规则 44

十五、试验报告编制要求 53

十六、试验质量控制要求 57

十七、试

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