CN119200347A 一种浸没式激光直写光刻装置和方法 （复旦大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119200347A

(43)申请公布日2024.12.27

(21)申请号202411490906.6

(22)申请日2024.10.24

(71)申请人复旦大学

地址200433上海市杨浦区邯郸路220号

(72)发明人蒋平陈新宏

(74)专利代理机构北京易捷胜知识产权代理有

限公司11613

专利代理师安辉

(51)Int.Cl.

G03F7/20(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图2页

(54)发明名称

一种浸没式激光直写光刻装置和方法

(57)摘要

本发明提供一种浸没式激光直写光刻方