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洁净车间环境监测与管控手册.docx

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    洁净车间环境监测与管控手册

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、手册适用范围与基本原则 4

    二、洁净车间等级划分标准 6

    三、环境监测组织职责分工 9

    四、监测设备配置与校准管理 11

    五、空气洁净度监测流程规范 15

    六、温湿度监测与调控要求 18

    七、悬浮粒子浓度监测方法 20

    八、浮游菌与沉降菌监测规范 22

    九、压差监测与联动管控机制 25

    十、噪音与振动监测管控标准 28

    十一、照明与静电监测管控要求 31

    十二、监测数据采集与记录管理 33

    十三、异常预警阈值设定规则 36

    十四、环境异常应急处理流程

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