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微束分析——分析电子显微术——高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Microbeamanalysis—Analyticalelectronmicroscopy—Proceduresfordeterminingthepointresolutionofhigh-resolutiontransmissionelectronmicroscope

摘要

高分辨透射电子显微镜（HRTEM）是材料微观结构表征的核心装备，其点分辨率直接决定了原子尺度结构分析的可信度与精确度。然而，长期以来国内外缺乏统一、可操作的点分辨率测定标准，导致不同实验室间测试结果缺乏可比性，制约了材料科学、半导体工业及纳米科技等领域的深入发展。本报告围绕国际标准BSISO25387-2026《微束分析——分析电子显微术——高分辨透射电子显微镜点分辨率测定程序》的立项背景、技术内容、关键测定方法及实施意义展开系统论述。该标准规定了利用数字图像分析技术测定HRTEM点分辨率的标准化程序，涵盖测试环境、仪器校准、样品制备、图像记录及数据处理等全流程技术要求。标准的发布实施填补了该领域国际标准空白，为全球范围内的仪器性能评价、科研成果互认及质量控制提供了统一技术依据，对推动电子显微学标准化进程具有里程碑