超薄聚对二甲苯-C基柔性微型超级电容器.pdfVIP

W1B.006

基于超薄聚对二甲苯‑C基板的表面贴装柔性微型超级电容器

11

11,21,31

S.Chen,X.Wang,J.Pu,andS.Li微电子研

究所，北京，100084，2传感技术国家重点，3加州大

学伯克利分校

基板到柔性Cu/Kapton基板。Y.S.

Moon

[4]等人将混

本文了一种采用10

μm厚聚对二甲苯‑C膜作为合电极附着在柔性聚醚砜薄膜上。然而，该工艺通过将

基板、活性炭（AC）作为电极的表面贴装柔性微型超电极从刚性基板转移到柔性基板，过程较为复杂。

级电容器。通过化学气相沉积（CVD）在硅晶片上沉积为简化制造工艺并降低整个超级电容器的厚度，本

了一层过