CN119350785A 一种干刻蚀制程用耐等离子体型ESCring的制备方法 （青岛芯氟新材料科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119350785A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411494251.XH01J37/32(2006.01)

(22)申请日2024.10.24

(71)申请人青岛芯氟新材料科技有限公司

地址266200山东省青岛市即墨区普东中

心社区营普路377号

(72)发明人张世鑫张金国马金福闫续

孙明超

(74)专利代理机构甘肃科博众智知识产权代理

事务所(普通合伙)62212

专利代理师孙树伟

(51)Int.Cl.

C08L27/18(2006.01)

C08K5/14(200