GBT 45856-2025 真空技术 真空计 皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告.docxVIP

真空技术真空计皮拉尼真空计的规范、校准和测量不确定度标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:VacuumTechnology—VacuumGauges—Specifications,CalibrationandMeasurementUncertaintyofPiraniVacuumGauges

摘要

真空测量技术是半导体制造、航空航天、核工业、薄膜沉积及科学研究等领域的关键基础支撑技术。皮拉尼真空计作为一种应用广泛的热传导型真空测量仪器，因其结构简单、成本适中、测量范围较宽（通常覆盖10?1Pa～10?Pa）等优势，在粗真空与中真空测量领域占据重要地位。然而，长期以来我国在皮拉尼真空计的规范制定、校准方法及测量不确定度评定方面缺乏统一的国家标准，导致不同制造商和校准实验室之间的测量结果缺乏可比性，制约了相关产业的技术进步与质量提升。本标准（GB/T45856-2025）的制定，系统规定了皮拉尼真空计的术语定义、技术要求、校准条件、校准方法及测量不确定度评定规范，填补了国内在该领域的标准空白。标准的发布与实施，将有效规范皮拉尼真空计的生产制造、检定校准及工程应用，提升真空测量数据的准确性与可靠性，对推动我国真空技术产业高质量发展具有重要意义。

关键词：皮拉尼真空计；真空测量；校准；测量不确定度；热传导；