微小化共路径雷射光学尺之设计—淡江大学机械与机电工程学系.pptxVIP

微小化共路径雷射光学尺之设计

汇报人：XXX

2026-09-07

目录

CONTENTS

02

实践方法论

核心知识体系

01

案例分析

03

数据分析

05

常见问题

落地建议

04

06

PART

核心知识体系

01

共路径设计原理

抗环境扰动能力强

共路径架构使参考光与测量光经过相同路径，有效抵消了空气扰动和温度变化带来的误差，大幅提升了纳米级测量的稳定性。

相比传统麦克森干涉仪，该设计减少了光学元件数量，通过立体空间布局进一步压缩体积，成功实现3cm³的微小化光学头设计。

由于参考和测量光束共享相同光路，外界环境噪声对两束光的影响同向等量，在干涉环节中相互抵消，从而显著提高了位移测量的精度。

系统架构简单紧凑

提升测量准确性

受限于微小化尺寸要求，系统采用激光二极管替代传统氦氖激光作为发光源，配合扩束系统与共路径光路系统构建完整光学头结构。

系统融合微小光学领域的微透镜阵列及微型光学结构，结合光杠杆等光学放大原理，将微小位移转化为可量化的电信号或光信号输出。

当测量光与参考光发生干涉时，通过分析条纹的相位变化或光强分布，可反推出待测物体的微小位移，实现奈米级的高精度量测。

光源选择与光路构建

干涉条纹信号处理

微光学元件集成应用

雷射干涉测量利用激光相干性，通过光波叠加产生的干涉条纹提取位移信息，结合现代微电子与微机械技术，实现了高精度非接触式微小尺寸测量。

雷射干涉测量