CN119347017A 晶圆加热盘的制作工艺 （大连皓宇电子科技有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119347017A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411469322.0

(22)申请日2024.10.21

(71)申请人大连皓宇电子科技有限公司

地址116602辽宁省大连市中国（辽宁）自

由贸易试验区大连保税区海兴街60-2

号1571室

(72)发明人王正国付佳明李玉慧

(74)专利代理机构大连智高专利事务所(特殊

普通合伙)21235

专利代理师盖小静

(51)Int.Cl.

B23K1/00(2006.01)

C23C16/46(2006.01)

C23C16/50(2006.01)

B