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半导体级高纯石英材料项目施工方案.docx

半导体级高纯石英材料项目施工方案.docx

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    半导体级高纯石英材料项目施工方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目总体概述 4

    二、施工前期准备工作 6

    三、施工总平面布置方案 8

    四、主要材料设备进场方案 12

    五、主体结构施工技术方案 15

    六、高纯石英提纯车间施工方案 19

    七、石英原料预处理施工方案 22

    八、高温熔制设备安装施工方案 25

    九、高纯水质处理系统施工方案 27

    十、洁净厂房净化系统施工方案 30

    十一、废气废水处理系统施工方案 34

    十二、管线综合布设施工方案 37

    十三、电气及弱电系统施工方案 40

    十四、安全防护设施施工方案

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