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洁净室板材进场验收规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 2

二、适用范围 4

三、术语与定义 5

四、进场前置核查要求 7

五、板材包装外观查验 10

六、质量证明文件核验 12

七、板材外观质量验收 14

八、板材尺寸偏差检验 16

九、板材性能指标检测 19

十、板材平整度验收 21

十一、板材拼接处质量验收 23

十二、标识与追溯性核查 25

十三、特殊功能板材验收 27

十四、不合格品处理要求 30

十五、验收记录与归档 33

十六、附则 36

总则

目的与适用范围

本规范旨在明确洁净室板材进场验收的通用技术要求与判定标准，规范从板材进场前检测、进场状态核查、验收判定到后续使用管控的全流程操作，确保进入洁净室使用的板材满足工艺环境适应性、性能合格性要求，保障洁净室运行精度、产品质量稳定，提升整体验收的科学性与可操作性，适用于洁净室板材进场全流程验收工作。

术语定义

本规范所涉相关术语的定义如下：

1、洁净室板材：指用于洁净室内设备、构造安装的专用板材，包含板材原料、加工合格板材、成品板材三类，适配洁净室不同工艺需求，具备明确的尺寸、精度、性能适配要求。

2、进场验收：指对达标的板材开展质量核查、性能检测、环境适配性验证的全部流程，是板材投入使用前的必要前置环节。

3、合