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CN119351961A 一种钛铌合金靶材与背板的绑定方法 （宁波江丰电子材料股份有限公司）.pdfVIP

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  • 2026-10-14 发布于重庆
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CN119351961A 一种钛铌合金靶材与背板的绑定方法 （宁波江丰电子材料股份有限公司）.pdf

    (19)国家知识产权局

    (12)发明专利申请

    (10)申请公布号CN119351961A

    (43)申请公布日2025.01.24

    (21)申请号202411494238.4

    (22)申请日2024.10.24

    (71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司

    地址315400浙江省宁波市余姚市经济开

    发区名邦科技工业园区安山路

    (72)发明人姚力军张怡忠吴东青孙慧芳

    (74)专利代理机构北京远智汇知识产权代理有

    限公司11659

    专利代理师徐浩

    (51)Int.Cl.

    C23C14/34(2006.01)

    权利要求书2页说明书6页

    (54)发明名称

    一种钛铌合金靶材与背板

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