CN119351997A 外延生长方法及外延片 （西安奕斯伟材料科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119351997A

(43)申请公布日2025.01.24

(21)申请号202411494740.5

(22)申请日2024.10.24

(71)申请人西安奕斯伟材料科技股份有限公司

地址710065陕西省西安市高新区西沣南

路1888号1-3-029室

(72)发明人何斌斌俎世琦

(74)专利代理机构西安维英格知识产权代理事

务所(普通合伙)61253

专利代理师宋东阳王渝

(51)Int.Cl.

C23C16/52(2006.01)

C23C16/455(2006.01)

H01L21/67(2006.01)