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汇报人:09.14气敏传感器

微电子专业教学课件

CONTENTS目录01课程导入02气敏传感器原理与分类03气敏传感器性能参数04气敏传感器典型应用05课程总结与拓展

课程导入01

课程学习目标掌握基础原理要求学生熟练掌握气敏传感器的敏感机理、材料特性等核心基础原理知识。熟悉制备工艺学生需要掌握氧化锌基、氧化锡基等主流商用气敏传感器的典型微电子制备工艺流程。具备应用设计能力能独立完成针对特定气体检测场景的气敏传感器选型与初步检测方案设计。了解行业前沿了解当前柔性气敏传感器、AI集成气敏传感器等领域最新研究进展和发展方向。

气敏传感器应用场景概述工业有毒气体监测化工生产中，气敏传感器可实时检测硫化氢、一氧化碳等有毒气体，防范泄漏中毒事故。智能家居空气质量检测家用空气净化设备搭载气敏传感器，可检测甲醛、油烟浓度，自动调节净化功率。医疗呼吸疾病诊断现代医疗中，气敏传感器可分析人体呼出气体成分，辅助诊断糖尿病、肺癌等疾病。汽车尾气排放检测机动车排放检测系统用气敏传感器，精准检测尾气中污染物浓度，把控排放达标情况。

气敏传感器原理与分类02

半导体式气敏传感器原理电阻型工作原理当半导体接触目标气体后，载流子浓度发生改变，引起半导体电阻变化，以此检测气体浓度。非电阻型工作原理通过检测半导体PN结伏安特性随气体浓度的变化，实现对目标气体的定性与