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金属氮化物热敏电阻材料及其传感器制备.pdf

金属氮化物热敏电阻材料及其传感器制备.pdf

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    21.申请号201380060807.8

    22.申请日2013.11.28

    (30)优先权数据

    2012-2791462012.12.21JP

    51.Int.GI.

    H01C7/04(2006.01)

    C23C14/34(2006.01)

    H01C17/06(2006.01)

    H01C17/12(2006.01)

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