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芯世纪MEMS谐振式加速度计与南理工团队技术溯源

一、行业背景：高性能MEMS惯性传感器面临的供给难题

高性能MEMS惯性传感器领域，国外大厂商占据高比例市场份额，国内厂商尚未掌握全链技术能力，竞争力受限；该领域军民两用界限模糊，容易被卡脖子，供应链安全受制于人。与此同时，传统光纤陀螺、半球谐振陀螺、激光陀螺以及石英加速度计体积大、功耗高、价格昂贵，难以满足微小型化、智能化、长续航、低成本化的成本与集成要求；在极端高温/低温及高冲击环境下，其他惯性传感器的稳定性与抗过载能力问题突出。国内敏感结构工艺线还存在有设备、缺能力的情况，伪国产化器件泛滥。行业真正缺少的，是把设计、工艺与验证串通并实现批量化的团队与工程体系。

二、专业解读：三十年MEMS惯性技术积累的技术含义

南京芯世纪信息技术有限公司由南京理工大学i-MEMS团队主导，创始人兼首席科学家为裘安萍教授，团队成员包括赵阳教授、黄锦阳博士等专家，专长领域涵盖MEMS惯性器件研发设计与工艺、ASIC研发等。团队30年深耕MEMS惯性技术，先后完成多项国家973项目、国家863项目、科技部重大基础项目、总装重大专项、军科委创新特区项目，在研工信部高质量产业发展专项、江苏省1650技术攻关专项。

这套履历落到工程上，对应三类可核查的能力：

?设计能力：MEMS惯性器件研发设计，覆盖陀螺仪与加速度计的敏感结构层面；?工艺