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碳化硅晶体生长炉三维温度场数值模拟研究.pdfVIP

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  • 2026-10-15 发布于北京
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碳化硅晶体生长炉三维温度场数值模拟研究.pdf

    工程热学会传热传质学

    学术会议编号：153052

    SiC晶体生长炉三维温度场数值模拟研究

    1，1，1，1,1,2

    (1.能源，山东济南，250014；2.大学，机械工程系，)

    （Tel:，E-mail:yangcz@sderi.cn）

    ：本文基于有限体积法和C语言建立了SiC晶体生长炉三维温度场数值模拟平台，对比研究了有

    无辐射换热过程及电磁加圈

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