YST 1729-2025 钼合金靶材标准立项发展报告.docx

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钼合金靶材标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:MolybdenumAlloyTargets

(标准编号:YS/T1729-2025;标准状态:现行;发布日期:2025-04-10;实施日期:2025-11-01)

摘要

钼合金靶材是磁控溅射镀膜工艺的核心消耗性材料,广泛应用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)、有机发光二极管显示器(OLED)的金属电极、薄膜太阳能电池背电极以及半导体器件等领域,是新型显示和新能源产业链中不可替代的关键基础材料。长期以来,由于缺乏统一的产品标准,国内钼合金靶材生产、验收与贸易环节质量依据不一致,制约

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