GBT 45826-2025 光刻用掺钛石英玻璃 标准立项发展报告.docx

光刻用掺钛石英玻璃标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:TitaniaDopedSilicaGlassforLithography

摘要

随着半导体制造工艺向7nm及以下技术节点演进，光刻技术对光学材料的性能要求日益严苛。掺钛石英玻璃因其近零热膨胀系数、优异的光学均匀性和化学稳定性，成为极紫外光刻（EUVL）光掩模基板及高端光学系统的关键材料。然而，长期以来该材料缺乏统一的国家标准，导致产品质量参差不齐、检测方法各异、国际贸易受阻。GB/T45826-2025《光刻用掺钛石英玻璃》于2025年正式发