SEMI C3系列晶圆制造高纯氮气品质规范（中文工程参考译本）.docxVIP

PAGE

SEMIC3系列晶圆制造高纯氮气品质规范（中文工程参考译本）

重要前置澄清

1．不存在SEMIF75-23《晶圆制造高纯氮气品质规范》。SEMIF75的标准全称为SEMIF75《GuideforQualityMonitoringofUltrapureWaterUsedinSemiconductorManufacturing》（半导体制造用超纯水质量监测指南，现行版本F75-0521），是超纯水标准而非氮气标准，也没有F75-23版本。晶圆制造高纯氮气对应的SEMI标准为C系列（SEMIC59、SEMIC3.5、SEMIC3.15等）。

2．SEMI标准版权受保护，SEMI官方不公开免费完整中文版全文，网络亦无官方授权完整中文译本。本文档为行业工程参考译本（摘要加核心技术条款），仅供厂务工程内部参考，不可作为正式合规原版文件使用。

3．ASTMF75-23为外科植入用钴铬钼合金材料标准，与半导体制造无关，请勿与SEMI标准混淆。

晶圆厂高纯氮气规范应参照SEMIC3（SpecificationforGases）、SEMIC3.5（大宗液氮）、SEMIC3.15（钢瓶高纯氮气）、SEMIC59（氮气总规范）及SEMIC6.4（管道颗粒等级）执行。

1范围

本规范适用于半导体晶圆制造工艺所用的高纯氮气（N?），涵盖大宗液态液