SEMI F22半导体高纯气体输送系统指南（中文工程参考译本）.docxVIP

PAGE

SEMIF22半导体高纯气体输送系统指南（中文工程参考译本）

重要前置澄清

1．经SEMI官方核验：SEMIF64的真实标准名称为《TestMethodforDeterminingPressureEffectsonIndicatedandActualFlowforMassFlowControllers》（质量流量控制器指示与实际流量压力影响测定测试方法，现行版本F64-0701，2011年复审），是MFC压力影响测试方法，并不是高纯气体输送系统指南，也不存在F64-23版本。

2．半导体高纯气体输送系统对应的SEMI标准为SEMIF22《GuideforBulkandSpecialtyGasDistributionSystems》（大宗与特种气体输送系统指南，现行版本F22-0812，2018年复审），配套标准还包括SEMIE49系列（高纯及超高纯管路与气体分配系统指南）、SEMIF105（金属材料兼容性指南）、SEMIF36（组件尺寸与连接指南）。网上流传的SEMIC11.1高纯气体输送系统指南编号并不存在（SEMIC11系列实为电子化学品等级标准），请以SEMIF22为准。

3．SEMI原版标准受版权保护，SEMI无官方中文版。本文档为工程参考中文译本，仅用于晶圆厂内部技术研讨、标书、SOP编写，不可作为合