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SEMIF57超纯水系统用高纯度聚合物材料与组件规范（中文工程参考译本）

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SEMI官方没有免费公开中文版全文，SEMI标准版权受国际版权保护。本文档为SEMIF57《SpecificationforHighPurityPolymerMaterialsandComponentsUsedinUltrapureWaterandLiquidChemicalDistributionSystems》（超纯水系统用高纯度聚合物材料与组件规范）工程参考中文译本，仅用于半导体厂务、超纯水系统内部技术研讨、标书编制、SOP参考，不可作为正式验收、审计、法律合规原版文件；正式项目请向SEMI官网采购正版英文原版。

版本说明：经核实，SEMI官方现行版本为SEMIF57-0622（2022年6月发布），不存在F57-2023版本；本文档按现行版本整理。

1目的

1.1本规范规定超纯水（UPW）输送系统所用超高纯度（UHP）聚合物材料与组件的最低性能要求。超纯水系统相关设计、运行指南见SEMIF61、SEMIF63。

1.2本规范同时为超高纯度液态化学品输送系统（LCDS）内聚合物材料、组件提供使用推荐。适用系统范围包含大宗供应管网、厂内分配管网、工艺设备端管路组件。

1.3本规范核心聚焦聚合物材料、组件的浸出污染物验证与性能确