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SEMIF98-24中文版详细解读：半导体工艺再生水处理指南

重要说明：SEMI原版全称SEMIF98-24GuideforTreatmentofReuseWaterinSemiconductorProcessing，SEMI标准为付费版权文档，无官方中文版，本文为工程编译+深度解读稿，可直接用于晶圆厂节水方案、废水分质收集、再生水回用设计、EHS评估、可研及技术协议。

配套关联标准：SEMIF116（机台排水分流收集）、SEMIF63（超纯水UPW）、SEMIF61（超纯水系统设计）、SEMIF75（UPW水质监控）。

适用对象：12英寸/8英寸晶圆制造工厂新建项目、老厂节水改造、近零排放ZLD方案设计。

第1章标准概述与适用范围

1.1目的

SEMIF98-24是半导体工厂再生水/回用水顶层设计指南，统一半导体工厂再生水术语、分质回用策略、处理路线、风险管控、KPI指标体系；指导工厂从机台源头排水分类、收集、处理、回用全流程，降低原水取水、废水外排，实现节水减排。

本标准属于推荐性指南，不强制规定固定水质限值，强调按回用用途匹配水质，风险分级管控。

1.2适用范围

晶圆厂内部各类工艺废水再生回用系统；

回用去向分为五大类（核心）：

①UPW超纯水系统原水进水（最高等级回用，回到超纯水前端制备）

②循环冷却水系统补水

③废气洗涤塔