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功率器件烧结互连工艺方案.docx

功率器件烧结互连工艺方案.docx

    泓域咨询全过程咨询·可行性研究报告编制

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    功率器件烧结互连工艺方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、适用范围 8

    三、术语与定义 10

    四、烧结互连工艺原理 15

    五、工艺设备配置要求 17

    六、互连材料选用要求 20

    七、基板与芯片前处理 23

    八、烧结工艺参数设定 26

    九、瞬态烧结互连工艺 28

    十、常压烧结互连工艺 31

    十一、真空烧结互连工艺 34

    十二、工艺过程质量控制 37

    十三、常见缺陷成因分析 40

    十四、互连质量检测方法 43

    十五、互连接口可靠性评估 47

    十六、工艺

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