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洁净车间压差控制方案
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、适用范围 5
三、术语与定义 6
四、压差控制总体要求 10
五、压差值设计参数 12
六、气流组织设计原则 14
七、送排风系统配置要求 16
八、高效过滤器选型规范 18
九、风阀及执行机构配置 21
十、压差传感器布置要求 23
十一、自动控制系统架构 25
十二、压差调节逻辑设定 28
十三、防气流倒流措施设计 32
十四、门窗密封性能要求 35
十五、施工安装质量控制 37
十六、系统调试验收标准 39
十七、日常运行监测要求
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