《电容式的微型机械超声换能器CUMT研究现状文献综述》1700字.docxVIP

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电容式的微型机械超声换能器CUMT研究现状文献综述

1.1国外研究现状

1937年，H.Sell首次阐述了静电传感器的设计理论。

1954年W.Kuhl团队等人成功地开发了一个能与空气耦合型的静电超声感应器。

1989年，由日本NEC公司的研究人员KenichiroSuzuki所率领的研究队伍创造了超声传感器。

1994年Matthew.I.Haller应用了硅微表面加热技术，成功地研制出世界第一个电容式的微型机械超声换能器(CMUT)。

2009年斯坦福大学E.L.Ginzton实验室还研发了一个16×16位的电容式微机械超声波换能器阵列的IC倒装芯片，能够进行三维超声波成像REF_Ref101627167\r\h[4]。如图1-2所示。

图1-216×16的电容式微机械超声换能器(CUMT)阵列的IC倒装芯片

2009年，AmiNiKoozadeh研发了两种9F导管（微线性导管和环形导管）REF_Ref101627221\r\h[5]，能完成对心脏内心房颤动实时超声实体成像的工作。如图1-4所示。

图1-4斯坦福大学研制的可以实现心肌的超声心动检测设备CUMT导管

2013年，由Anshuman.Bhuyan.JungWoochoe等人开发出了三维超声波图像管理系统REF_Ref10162727