GBT 14600-2025 电子气体 一氧化二氮 标准立项发展报告.docx

电子气体一氧化二氮标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGas—NitrousOxide

摘要

电子气体是集成电路、平板显示、光伏电池等电子信息产业的关键基础材料，其纯度与品质直接影响器件的性能与良率。一氧化二氮（N?O）作为一种重要的电子特种气体，广泛应用于半导体制造中的化学气相沉积（CVD）氧化膜生长、等离子体刻蚀及光刻工艺等环节。随着我国集成电路产业向先进制程快速演进，对电子级一氧化二氮的纯度、杂质控制及检测方法提出了更高要求。GB/T14600-2025《电子气体一氧化二氮》正是在此背景下立项修订的国家