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微机电系统（MEMS）技术车规级MEMS半导体气体传感器技术规范标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:Micro-electromechanicalsystems(MEMS)technology—TechnicalspecificationofautomotiveMEMSsemiconductorgassensor

摘要

随着汽车智能化、网联化进程的加速推进，车内空气质量监测、新能源汽车电池热失控预警及排放控制对高性能气体传感器的需求日益迫切。微机电系统（MEMS）半导体气体传感器凭借其微型化、低功耗、高集成度等优势，正逐步成为车规级气体传感的主流技术路线。然而，由于缺乏统一的车规级技术规范，该领域长期面临产品一致性差、可靠性验证不足、市场准入标准缺失等突出问题。本文系统阐述了GB/T47753-2026《微机电系统（MEMS）技术车规级MEMS半导体气体传感器技术规范》的立项背景、编制原则、主要技术内容和应用价值。该标准作为我国首项专门针对车规级MEMS气体传感器制定的国家标准，首次构建了涵盖性能要求、环境适应性、可靠性试验方法及标定规程的全链条技术框架，填补了该领域标准空白。标准的发布实施将为车载气体传感器的设计制造、质量验证及市场应用提供统一技术依据，有力支撑我国智能汽车产业的高质量发展和车规级