一种钽-碳化钽复合涂层的制备方法及其制品.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN115637419A

(43)申请公布日2023.01.24

(21)申请号202211247928.0

(22)申请日2022.10.12

(71)申请人厦门中材航特科技有限公司

地址361000福建省厦门市火炬高新区软

件园创新大厦C区3F-A484

(72)发明人彭志刚苑涛林巍丁洁

(74)专利代理机构厦门市新华专利商标代理有

限公司35203

专利代理师谢玲玲

(51)Int.Cl.

C23C16/14(2006.01)

C23C16/32(2006.01)

C23C16/44(2006.01)