CN119400715A 解键合方法及解键合装置 (上海积塔半导体有限公司).pdfVIP

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  • 2026-10-17 发布于重庆
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CN119400715A 解键合方法及解键合装置 (上海积塔半导体有限公司).pdf

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119400715A

(43)申请公布日2025.02.07

(21)申请号202411505467.1

(22)申请日2024.10.25

(71)申请人上海积塔半导体有限公司

地址201306上海市浦东新区中国(上海)

自由贸易试验区临港新片区云水路

600号

(72)发明人张林夕郭鑫晨鞠文鹏

(74)专利代理机构上海盈盛知识产权代理事务

所(普通合伙)31294

专利代理师陈丽丽

(51)Int.Cl.

H01L21/60(2006.01)

H01L21/683(2006.01)

权利

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