原创力文档《高速双频激光干涉仪的轴卡动态示值误差测试》标准立项修订与发展报告
GB/TT-469高速双频激光干涉仪的轴卡动态示值误差测试标准发展报告
DevelopmentReportontheStandardforDynamicIndicationErrorTestingofAxisCardsinHigh-SpeedDual-FrequencyLaserInterferometers
摘要
随着高端装备制造、半导体制造装备及精密测量领域的快速发展，高速双频激光干涉仪作为纳米级位移测量与校准的核心仪器，其动态测量性能直接关系到超精密加工与检测系统的
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