GBT 46173-2025 电子气体 惰性稀有气体 标准立项发展报告.docxVIP

电子气体惰性稀有气体标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:ElectronicGas—NobleGas

摘要

电子气体是集成电路、显示面板、光伏电池、光纤制造等高科技产业不可或缺的关键性基础材料，被誉为集成电路的血液。惰性稀有气体（包括氦、氖、氩、氪、氙等）作为电子气体家族中的重要成员，在半导体制造过程中的刻蚀、沉积、保护气氛、激光介质等环节发挥着不可替代的作用。随着我国半导体产业和新型显示产业的快速发展，对高纯度惰性稀有气体的质量要求日益严格，亟需建立统一、科学、先进的国家标准体系。GB/T46173-2025《电子气体惰性稀有气体》正是基于这一产业需求而立项制定的国家标准，该标准于2025年正式发布，将于2026年5月1日起实施。本标准规定了电子工业用惰性稀有气体的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、贮运及安全等方面的内容，适用于电子级氦、氖、氩、氪、氙等产品的质量控制与验收。本标准的制定和实施，将有效规范我国电子气体市场秩序，提升国产惰性稀有气体的产品质量水平，促进我国电子气体产业与国际接轨，为保障我国集成电路产业链供应链安全提供重要的标准化技术支撑。

关键词：电子气体；惰性稀有气体；国家标准；半导体；纯度；杂质分析；标准化

Keywords:Electronicgas;Noblegas;Nati