原创力文档《多轴干涉镜组测试方法第2部分：热漂移》标准立项修订与发展报告
GB/TT-469《多轴干涉镜组测试方法第2部分：热漂移》标准发展报告
DevelopmentReportonGB/TT-469TestMethodsforMulti-AxisInterferometerMirrorAssemblies—Part2:ThermalDrift
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摘要
随着精密制造、半导体装备、航空航天及大科学工程等领域的快速发展，多轴干涉镜组作为激光干涉测量系统的核心组件，其性能稳定性直接决定了测量精度与系统可靠性。热漂移是多轴干涉镜组
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