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潔淨室空調系統

簡介*大纲洁净空调特性空气循环系统换气次数FFU系统濕空氣性质及处理性质焓湿图处理程序MAU结构功能*洁净室空调系统特性（一)温湿度要求比一般空调低：一般空调系统温度要求在25℃～27℃,相对湿度为55～70％;而洁净室空调分别为22～23℃,相对湿度为40～45％。对空气品质要求严格：微尘粒子是构成半导体制品发生缺陷，降低产品良率的主要原因之一，在微尘粒子和某些化学离子要求也非常严格。外气量与换气次数大：在半导体工厂中，制程系统使用大量的化学品和毒气，而这些化学品和毒气所产生的些挥发气和废气必须予以全数排除，排气量非常大，所以需要补充大量的外气来维持室内的正压环境。回主畫面*洁净室空调系统特性（二)气流分布均匀：洁净室空调为带走室内所产生的微尘粒子，以维持洁净度，所以除了气流速度需达一定要求标准外，气流的形状也必须依不同的洁净室等级而加以适当的控制。洁净等级不同的邻室维持适当压差：为防止等级低的室内空气泄漏到等级高的室内，造成污染。送风温度与室内温度差距小：由于产品制程对温湿度变化极为敏感，洁净室部分区域须控制在±0.3oC，故送风温度与室内温度差距不能太大。（温度分布图)运转成本高：由于洁净室热负荷相当大，又需要补充大量的外气，循环风量大，所以不止是初期