GBT 29024.2-2025 粒度分析 单颗粒的光学测量方法 第2部分：光散射法液体颗粒计数器 标准立项发展报告.docx

粒度分析单颗粒的光学测量方法第2部分：光散射法液体颗粒计数器标准立项发展报告

StandardizationDevelopmentReport:DeterminationofParticleSizeDistribution—SingleParticleLightInteractionMethods—Part2:LightScatteringLiquid-BorneParticleCounter

摘要

随着半导体制造、生物医药、精密化工及航空航天等高端制造领域对液体介质中颗粒污染控制要求的日益严苛，光散射法液体颗粒计数器作为核心检测装备，其计量准确性与标准