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半导体光刻级氟化钙晶体用高纯原料技术要求及检测方法编制说明.pdf

半导体光刻级氟化钙晶体用高纯原料技术要求及检测方法编制说明.pdf

    《半导体光刻级氟化钙晶体用高纯原料技术要

    求及检测方法》

    （征求意见稿）

    编制说明

    一、工作简况

    （一）任务来源

    本项目根据中国欧洲经济技术合作协会2026年团体标准制定计划，项目名称为

    《半导体光刻级氟化钙晶体用高纯原料技术要求及检测方法》的任务而进行制订。

    （二）起草单位及主要起草人

    本文件起草单位：。

    本文件主要起草人：。

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