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光学元件洁净车间工程建设方案.docx

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    光学元件洁净车间工程建设方案

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、项目概况 4

    二、建设目标 6

    三、产品工艺需求 8

    四、洁净等级规划 10

    五、车间总体布局 12

    六、建筑设计方案 14

    七、洁净装修方案 16

    八、工艺设备配置 19

    九、空气净化系统 22

    十、暖通空调系统 26

    十一、给排水系统 32

    十二、电气与动力系统 34

    十三、照明系统设计 37

    十四、自动控制系统 40

    十五、工艺气体系统 43

    十六、消防系统设计 46

    十七、安全防护系统 48

    十八、环境保护措施 50

    十九、

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