IEC 60594-1977 扫描系统性能测量方法标准详解.pdfVIP

IEC60594-1977扫描系统性能测量方法标准详解

全面解析扫描测量中的关键技术指标与验证程序

标准概况与适用范围

IEC60594-1977是国际电工委员会（IEC）发布的关于扫描测量系统性能测试的方法标准。该标准最

初制定于1977年，其核心目标是为各类采用扫描原理的测量设备提供统一的性能评价框架。尽管技术

发展迅速，但该标准所确立的扫描线性度、分辨率、重复性等基础定义及测试原理至今仍被广泛引

用，是扫描测量领域的重要参考文献。

本标准适用于采用连续或步进扫描方式进行空间、频率或时间域测量的系统，包括但不限于：

光学轮廓扫描仪（如共焦显微镜扫描模块）

机械接触式轮廓仪（探针扫描系统）

激光三角法扫描测头

光谱扫描分析仪器

工业检测用的二维/三维扫描平台

IEC60594-1977帮助使用者统一测试条件、消除不同制造商之间的指标对比歧义，为设备选型、验

收及周期性校准提供技术依据。

提示：实用提示：虽然本标准年份较早，但其定义的扫描误差分类（系统误差、随机误差）

与现代测量不确定度评定指南（GUM）完全兼容，可结合使用以提升现代扫描系统的综合验证

水平。

主要技术内容与要求

扫描系统的关键性能参数

标准将扫描性能划分为三大类