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洁净室防静电设计规范

目录TOC\o1-4\z\u

一、总则 4

二、术语与定义 6

三、设计原则 9

四、静电危害分析 12

五、静电防护等级划分 14

六、环境条件与设计参数 17

七、防静电区域规划 20

八、建筑与围护结构设计 22

九、地面系统设计 25

十、墙面与顶棚设计 28

十一、工作台与设备布局 32

十二、人员防静电设施 34

十三、服装与个体防护 35

十四、接地系统设计 38

十五、等电位连接设计 40

十六、静电耗散材料选用 42

十七、工艺设备防静电设计 45

十八、物料与容器管理 47

十九、空气调节与湿度控制 50

二十、离子化消电系统设计 52

二十一、电气与电子系统防护 54

二十二、监测与报警系统 57

二十三、施工与安装要求 62

二十四、检验与验收要求 65

二十五、运行维护与管理 67

总则

目的界定

本规范旨在为洁净室防静电设计活动提供通用性指导框架，围绕防范静电引发的设备损坏、工艺偏差、数据异常等风险，规范静电特性评估、防护措施实施、性能验证及安全管理全流程，确保洁净室内场所运行环境稳定，保障相关工艺操作及技术数据准确可靠，维护整体系统安全可控。

适用范围

本规范适用于各类洁净室中涉及电子元器件组装、精密