ISOTR 14644-21-2023 洁净室和相关受控环境第21部分：空气中颗粒取样技术 标准立项发展报告.docx

洁净室和相关受控环境第21部分：空气中颗粒取样技术标准立项发展报告

EnglishTitle:StandardizationDevelopmentReport:Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part21:Airborneparticlesamplingtechniques

摘要

随着半导体、生物医药、航空航天、精密制造等高新技术产业的快速发展，洁净室及相关受控环境对空气中颗粒浓度的监测与控制提出了越来越高的要求。颗粒取样技术作为洁净室环境监测的核心环节，其科学性和规范性直接影响监测数据的准确性与可靠