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MEMS振荡器品质控制规范.docx

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    MEMS振荡器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、适用范围 3

    二、术语和定义 4

    三、产品分类与型号 6

    四、品质控制原则 10

    五、品质目标与指标 11

    六、原材料与元器件控制 13

    七、设计开发控制 16

    八、晶圆制造控制 20

    九、封装工艺控制 24

    十、生产过程控制 26

    十一、生产设备与工装管理 28

    十二、生产环境控制 30

    十三、检验与试验管理 32

    十四、频率稳定性要求 35

    十五、环境适应性要求 39

    十六、可靠性验证要求 41

    十七、外观与标识要求 44

    十八、批次管

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