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MEMS挥发性气体传感器品质控制规范.docx

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    MEMS挥发性气体传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、范围 3

    二、术语和定义 4

    三、产品分类 6

    四、产品型号与规格 8

    五、技术要求 12

    六、工作环境条件 14

    七、原材料质量控制 15

    八、设计质量控制 17

    九、芯片制造质量控制 20

    十、封装质量控制 23

    十一、生产过程控制 25

    十二、设备与工装管理 27

    十三、洁净环境控制 30

    十四、检验与试验方法 32

    十五、出厂检验 36

    十六、型式检验 39

    十七、抽样与判定规则 41

    十八、校准与标定 43

    十九、可

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