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MEMS腔体结构品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、总则 3
二、适用范围 6
三、术语和定义 8
四、规范性要求 9
五、腔体结构分类 12
六、设计质量要求 16
七、材料质量要求 18
八、晶圆来料检验 21
九、工艺流程控制 23
十、腔体尺寸控制 26
十一、键合质量控制 27
十二、密封性能控制 30
十三、表面质量控制 32
十四、洁净度控制 35
十五、缺陷分类与判定 39
十六、检验方法与设备 41
十七、抽样与检验规则 43
十八、可靠性验证 49
十九、标识与追溯
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