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MEMS来料检验器件品质控制规范
目录TOC\o1-4\z\u
一、范围 4
二、规范性引用文件 5
三、术语和定义 6
四、检验目标 9
五、职责分工 11
六、供应商管理 14
七、来料分类与检验等级 16
八、检验流程 19
九、抽样方案 21
十、检验环境与设备 24
十一、包装与标识检查 26
十二、外观质量检验 28
十三、尺寸与结构检验 31
十四、电气性能检验 34
十五、功能性能检验 37
十六、可靠性与环境适应性检验 40
十七、材料与工艺一致性确认 43
十八、检验数据记录
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