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MEMS有毒气体传感器品质控制规范.docx

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    MEMS有毒气体传感器品质控制规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 4

    二、术语和定义 7

    三、产品分类与型号 9

    四、技术要求 11

    五、传感机理与结构要求 14

    六、原材料与关键部件控制 17

    七、设计开发控制 19

    八、生产过程控制 22

    九、洁净与环境控制 25

    十、检验设备与计量管理 29

    十一、出厂检验 34

    十二、型式检验 38

    十三、性能测试方法 41

    十四、可靠性与寿命评价 45

    十五、安全与电磁兼容 47

    十六、包装标识与储存运输 51

    十七、不合格品控制 54

    十八、

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